纳米级的过程控制,驱动良率极限提升

面向 Wafer 晶圆制造与 OSAT 封装测试的高阶 SPC。解决非正态分布拟合、多头 (Multi-Head) 一致性及 ATE 海量数据实时监控难题。

auto_graph非正态分布拟合 hubMulti-Head 一致性 speedATE 实时数据洪流 biotech良率相关性挖掘
Auto-Fitting

行业痛点

“良率下降 0.1%,就是数百万美元的损失。您的 SPC 软件能抓住那个极其微小的变异吗?”
query_stats

非正态分布导致的“虚假报警”

蚀刻深度、薄膜厚度、平面度等工艺参数,往往呈现偏态(Skewed)分布。传统 SPC 软件强行套用正态分布公式计算 CPK,导致大量虚假报警(False Alarm),工程师疲于奔命却找不到真问题。

device_hub

封装设备的多头 (Multi-Head) 一致性噩梦

固晶机 (Die Bonder) 和焊线机 (Wire Bonder) 往往有多个吸嘴或焊头。经常出现“整机 CPK 合格,但其中一个焊头在制造废品”的情况,传统图表难以发现局部异常。

waterfall_chart

ATE 测试数据洪流

自动测试设备 (ATE) 每秒产生数千个测试结果。人工导出数据再做分析完全滞后,无法拦截正在发生的批量不良。

NEXSPC 核心场景与解决方案

把半导体的“真实分布、真实一致性、真实时效”拉回到统计模型与工程闭环里。

Distribution Fitting 非正态分布的精准 Ppk 计算

非正态分布的精准 Ppk 计算

Statistical Accuracy

还原数据的真实面貌,拒绝数学模型的误判。针对半导体工艺中普遍存在的非正态数据,NEXSPC 内置了高级统计工具箱。

  • 智能拟合 (Auto-Fitting):自动运行 Anderson-Darling 检验,在 Weibull、Log-Normal、指数分布等模型中匹配拟合度最高的曲线。
  • Box-Cox 变换:对极其复杂的分布,一键完成 Box-Cox 变换,转化为正态后再进行标准化评分。
  • 准确的 PPK:基于最佳拟合模型计算 PPK,确保良率评估的真实性,降低 False Alarm。
价值:当分布不是正态时,仍能得到可信的过程性能指数,让“报警”回归工程意义。
Head-to-Head 多焊头/多吸嘴一致性“雷达” Head 7 error

多焊头/多吸嘴一致性“雷达”

Head-to-Head

监控每一根金线,不放过任何一个“短板”焊头。针对 Wire Bonder、Die Attacher 等多通道设备,NEXSPC 提供多维分组控制图与对比分析。

  • Head-to-Head 对比:把同一台设备的多个焊头/吸嘴按组叠加,通过分组箱线图一眼识别均值漂移与方差异常。
  • 方差分析:自动判定各焊头之间差异是否显著,指导设备工程师进行针对性校准。
价值:避免“整机合格但局部废品”的隐性损失,把坏头问题在批量扩散前拦截掉。
WEB API / MQTT / WebSocket / OPC UA 100+ 点/秒并发写入

秒级 ATE 数据实时互联

WEB API / MQTT / WebSocket / OPC UA

跟上测试机的节拍,实现“测完即析”。面对封测厂海量的数据吞吐,NEXSPC 采用轻量化的工业互联协议与高并发写入架构。

  • TCP监听:针对老旧设备,支持监听 TCP Server 端口,实时解析测试 Log。
  • MQTT 高频订阅:订阅测试机主题,支持每秒 100+ 点并发写入,实时生成良率趋势图。
  • 异常拦截:发现连续 N 个芯片电压异常,秒级触发报警,联动停机。
价值:从“事后检查”升级为实时体检与拦截,把批量不良止损在正在发生的当下。
Regression / Auto-Lag 工艺参数与良率的相关性挖掘

工艺参数与良率的相关性挖掘

Data Correlation & Root Cause Analysis

由果索因,找到影响良率的关键变量 (KCC)。良率下降了,是温度没控制好,还是压力波动?NEXSPC 把前道工艺参数与终测良率串成同一条“数据因果线索”。

  • 相关性分析:将最终测试 Yield(Y)与前道设备参数(X,如烤箱温度、压力)进行回归分析。
  • 滞后挖掘 (Auto-Lag):自动滞后 (Auto-Lag) 算法,发现“2 小时前的温度波动”是导致“现在良率下降”的真凶。
价值:把“猜原因”变成“证据驱动”的工艺优化,减少无效调参,提升改进命中率。

客户价值对比(Before & After)

从分布模型到数据时效,再到分析深度:每一项都直指良率与成本。

维度 传统 Excel / 通用 SPC 软件 NEXSPC 半导体专用版
分布模型 默认正态分布,非正态数据 CPK 计算错误 自动拟合 Weibull/Log-Normal,Ppk 误差 <1% <1%
多头管理 只能看设备整体能力,掩盖坏头问题 一键展开多焊头/吸嘴的分组对比与箱线图,精准定位短板 Head
数据时效 每天/每班导出 ATE 报告,属于“事后检查” MQTT 秒级采集,实时“体检”与拦截
分析深度 仅限于画图 提供 ANOVA、回归分析、Auto-Lag 等六西格玛级工具